A Mikrorendszerek laboratóriumban folyó kutatások célja a szilícium mikromechanikai és nanotechnológiai megoldások alkalmazásával megvalósítható szenzorok, szenzorrendszerek, MEMS és BioMEMS eszközök fejlesztése, ide értve az érzékelési elvek, a technológiai megoldások és a funkciomális anyagrendszerek kutatását. A MEMS technológia alkalmazása lehetővé teszi az analitikai rendszerek miniatürizálását, illetve különböző érzékelési, kiolvasási, beavatkozási, illetve mintapreparációs funkciók integrálását is. A laboratóriumban elsősorban mechanikai, fizikai és kémiai (és biokémiai) szenzorok, funkcionális mikro- és nanofluidikai szerkezetek és implantálható mikorendszerek, infravörös LED eszközök fejlesztésén dolgoznak a kutatók.